ZEISS Sigma 500西安蔡司場發射西安掃描電鏡的日常維護

　　蔡司西安掃描電鏡是價格昂貴、精密複雜的大型儀器，因此,不但要求實驗室管理員能夠規範的操作儀器，更需要管理員能對其進行精細的日常維護[12-15],以確保機器處於正常的工作狀態。以下介紹了ZEISS Sigma 500熱場發射西安掃描電鏡的日常維護情況。

　　1電鏡室維護

　　做好日常清潔工作,保持電鏡室整潔、無塵;利用空調和除濕機等外部手段調控室內溫度和濕度環境,使室內溫度處於20士5C之間,濕度保持在60%以下,以防西安掃描電鏡各部件損壞。定時檢查氮氣瓶氣量開關是否打開,保證出口壓力指針處於0.3~0.4MPa之間。

　　2真空係統維護

　　西安掃描電子顯微鏡屬於高真空係統的儀器。場發射西安掃描電鏡需長期保持開機狀態以確保電鏡具有優良的真空值:電鏡的係統真空( System vacu-um)-般要求在10~'mbar以上,電子槍真空(Gunvacuum)- .般要求在10-9 mbar以上。如果發生停電或維修等特殊情況,來電後應盡快開機，穩定後檢查係統真空和電子槍真空是否在工作範圍內。

　　若停電時間過長造成真空度下降過多，則需進行烘烤操作(- -般需要烘10h,晾4h)。

　　3配件維護

　　定時檢查機械泵的油液麵是否在安全線以上。若油液麵在安全線以下或泵油顏色變深,則應立即添加或更換泵油;每半年更換一次密封圈
，防止因密封圈老化影響抽真空的效果。

　　定期清洗樣品台、送song樣yang杆gan以yi及ji離li子zi濺jian射she儀yi樣yang品pin室shi等deng易yi受shou汙wu染ran的de部bu件jian，以yi防fang受shou到dao灰hui塵chen等deng雜za質zhi的de汙wu染ran而er影ying響xiang真zhen空kong效xiao果guo。清qing洗xi時shi可ke使shi用yong防fang靜jing電dian無wu塵chen布bu蘸zhan取qu酒jiu精jing進jin行xing擦ca拭shi。

　　定期檢查水冷機循環水,一般每學期換一次循環水。若發現水位低於警戒線,應立刻添加去離子水;若發現循環水混濁變質應立刻更換，防止因循環係統堵塞和結垢造成水循環係統工作效率降低。

　　更換時需先關機,清洗水箱後再加去離子水,並倒人半瓶抑菌劑,以防藻類和細菌生長。

　　4總結

　　綜上所述,認真學習蔡司西安掃描電鏡的組成部分和工作原理,規範上機操作步驟
，合理選擇不同種類樣品的觀察條件和試驗方法,積累測試經驗才能有效保證大型精密設備的良好運轉。電鏡管理人員應具有高度的責任心與工作熱情,重視儀器的日常維護保養,掌握必要的故障檢測與排除技能,定檢查儀器運轉情況及時更換消耗品,確保儀器在最佳狀態下更好的服務於科研工作。