理化科學實驗中心新購的西安蔡司GeminiSEM 450場發射西安掃描電子顯微鏡已於近日安裝完畢。本儀器配備Gemini2雙shuang聚ju光guang電dian子zi光guang管guan，可ke在zai近jin光guang高gao分fen辨bian率lv成cheng像xiang和he遠yuan光guang分fen析xi模mo式shi之zhi間jian無wu縫feng切qie換huan，為wei各ge種zhong不bu同tong的de應ying用yong提ti供gong全quan方fang位wei的de適shi用yong性xing和he靈ling活huo性xing。可ke觀guan察cha物wu體ti的de二er次ci電dian子zi像xiang和he背bei散san射she電dian子zi像xiang，可ke同tong時shi進jin行xingX射線能譜分析和背散射電子衍射分析。

　　1、固體材料表麵形貌的觀察

　　觀察樣品時不必噴金或少噴金。可廣泛應用於表麵形貌觀察、粒度測量、集成電路質量檢測
、斷裂分析、生物、物理、化學、納米材料

、金屬材料
、高分子材料等失效分析等。

　　2.背散射電子圖像(BSE)

　　背bei散san射she電dian子zi圖tu像xiang可ke以yi顯xian示shi樣yang品pin的de原yuan子zi序xu數shu或huo化hua學xue成cheng分fen的de差cha異yi，即ji樣yang品pin的de成cheng分fen對dui比bi度du。根gen據ju背bei散san射she電dian子zi圖tu像xiang的de明ming暗an，可ke以yi區qu分fen相xiang應ying區qu域yu內nei原yuan子zi序xu數shu的de相xiang對dui大da小xiao
，可ke以yi分fen析xi陶tao瓷ci、金屬或合金的微觀結構。

　　3. X 射線能譜 (EDS)

　　配備Oxford Aztec係列X射線光譜儀

，分析元素範圍5B至92U，可對固體材料進行微區元素組成分析
，適用於生物、醫學
、化學、化工、物理、金屬科學和其他相關學科。物體微區域元素的定性和半定量分析。

　　4. 背散射電子衍射 (EBSD)

　　BSD可以測量晶體材料的晶體結構和取向，用於研究材料的微觀結構和織構。它已成為材料研究中一種有效的分析方法。 EBSD技術目前的應用領域包括：工業生產的金屬和合金、陶瓷、半導體
、超導體
、礦石——研究各種現象，如熱機械處理過程
、塑性變形過程以及與取向相關的性能(成形性
、磁性能等) .)、界麵特性(腐蝕、裂紋、熱裂紋等)
、相識別等。