SEM-EDS是一種組合檢測設備，結合了掃描式電子顯微鏡(Scanning Electron Microscopy)和能量散射光譜儀(Energy Dispersive Spectrometer)。

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　　▶中山掃描電鏡(SEM)+能譜儀(EDS)介紹：

　　掃描電子電鏡(SEM)是介於透射電鏡和中山光學顯微鏡之(zhi)間(jian)的(de)一(yi)種(zhong)微(wei)觀(guan)形(xing)貌(mao)觀(guan)察(cha)手(shou)段(duan)，可(ke)直(zhi)接(jie)利(li)用(yong)樣(yang)品(pin)表(biao)麵(mian)材(cai)料(liao)的(de)物(wu)質(zhi)性(xing)能(neng)進(jin)行(xing)微(wei)觀(guan)成(cheng)像(xiang)。是(shi)利(li)用(yong)聚(ju)焦(jiao)的(de)很(hen)窄(zhai)的(de)高(gao)能(neng)電(dian)子(zi)束(shu)來(lai)掃(sao)描(miao)樣(yang)品(pin)，通(tong)過(guo)光(guang)束(shu)與(yu)物(wu)質(zhi)間(jian)的(de)相(xiang)互(hu)作(zuo)用(yong)，來(lai)激(ji)發(fa)各(ge)種(zhong)物(wu)理(li)信(xin)息(xi)，通(tong)過(guo)收(shou)集(ji)器(qi)和(he)影(ying)像(xiang)放(fang)大(da)鏡(jing)對(dui)這(zhe)些(xie)信(xin)息(xi)進(jin)行(xing)收(shou)集(ji)
、放大
、再成像以達到對物質微觀形貌表征的目的。

　　中山掃描電子顯微鏡(SEM)能夠利用高能電子束掃描樣品表麵
，通過電子與樣品原子相互作用所產生的各種信號，諸如二次電子、背散射電子等。這些信號會被探測器捕捉並轉換成圖像
，通過這些圖像可以揭示樣品的表麵形貌和結構信息。

　　掃描電子顯微鏡(SEM)是一種使用電子束掃描樣品表麵以實現高倍率成像的設備。它利用發射電子束來掃描樣品表麵，通過多種相互作用獲得樣品的形態、成分及晶體結構等信息。

　　能譜儀(EDS)是一種器械
，用於分析樣品中的元素種類和含量。它是通過檢測電子束與樣品互動時所產生的X射線，根據能量分布的差異來區分各種元素，並計算各元素的相對含量。

　　能譜儀(EDS)需在真空室條件下用電子束轟擊樣品表麵
，激發物質發射出特征x射線，根據特征x射線的波長，可定性與半定量分析樣品表麵微區的成分(即元素周期表中B-U的元素)。需注意的是EDS隻能測元素種類和含量，不能做化合物結構和種類的判定。

　　▶中山掃描電鏡(SEM)+能譜儀(EDS)應用：

　　廣泛用於生物學、醫學、金屬材料、高分子材料、化工原料、地質礦物、商品檢驗、產品生產質量控製、寶石鑒定、考古和文物鑒定及公安刑偵物證分析。可以觀察和檢測非均相有機材料、無機材料及在上述微米

、納米級樣品的表麵特征。具體如下：

　　1.微觀形貌觀察及尺寸測量

　　如斷口顯微形貌觀察
，電子產品內部結構觀察，表麵形貌觀察，鍍層厚度測量，錫須長度測量等。

　　2.材料微觀結構觀察

　　如金屬材料的晶粒及晶界分析，鑄鐵材料石墨形態分析
，鋼鐵材料的金相觀察，納米材料分析等。

　　3.微區成分分析

　　利用電子束與物質作用時產生的特征X射線
，表征材料元素方麵的信息，可定性、半定量B-U的元素。

　　4.定位測試點

　　如在失效分析中可以用來定位失效點

，在異物分析中可以用來定位異物點。