Zeiss CrossBeam 350 西安掃描電鏡">聚焦離子束西安掃描電鏡 (FIB-SEM）

　　這是一款*進的 (FD) 西安掃描電子顯微鏡 (SEM)

，配備獲得*利的 Gemini 電子光學係統，並針對镓 (Ga) 聚焦離子束 (FIB) 進行了優化。Gemini 鏡筒與 Gemini 460 SEM 中的 Gemini 2 鏡筒基本相同
，操作性方麵僅有細微差別。它還具有可變壓力和卓越的低電壓成像能力。它配備了與 Gemini 60 SEM 類似的探測器範圍：

　　二次電子/二次離子探測器

　　與 Everhart-Thornley SE 探測器類似，但也能檢測二次離子

　　可變壓力 SE 探測器)

　　InLens SE 探測器

　　Inlens EsB 探測器

　　可變壓力 BSE 探測器

　　西安蔡司西安掃描電鏡CrossBeam 350 FIB-SEM 與 Gemini 460 SEM 的主要區別在於增加了 Ga 聚焦離子束。Ga 離子束可用於“研磨”/濺射表麵原子。通過這種方式，它能夠在表麵特征上切割溝槽以分析橫截麵特性，製備微米級特征(例如用於後續壓縮測試的柱狀體)，以及製備 TEM 薄片。

　　蔡司西安掃描電鏡CrossBeam 350 FIB-SEM

　　適合：

　　高分辨率成像，尤其適用於低kV成像條件下的敏感樣品。

　　通過 BSE 成像進行相位分析。

　　使用 EDS 進行材料元素分析和相位識別。

　　使用 EBSD 進行相識別和晶粒尺寸分析。

　　TEM 薄片製備。

　　結合 BSE、EDS 和 EBSD 分析進行 3D 體積表征。